凈化車間

　　凈化車間定義

　　在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化車間所特別設計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

　　凈化車間的施工要求

　　1、在凈化車間施工時，應按工藝要求建造施工，并合理地安排凈化設備的安裝位置和如何安裝，確保合理地利用廠房的位置。

　　2、根據車間內產品需要的潔凈度級別，安排所需的凈化設備，并安裝，在安裝時要做得密封與車間內的圍護結構相連時，要做到接縫不漏風等凈化效果，使凈化設備在車間內有效地發揮其功能，達到要求的潔凈度級別以及產品的質量有所保證。

　　3、凈化工程在對地面進行裝修時，應符合平整、耐磨、易除塵、好清洗、防靜電等要求。潔凈室和人員用室的外窗，應為雙層玻璃金屬結構，以保證其良好氣密性。

　　4、在凈化車間建造前，環境控制和控制微震動是非常重要的一個部分，而控制微震動并不是每個行業都需要的，例如在感光化學工業中，在光刻工序中，很小的震動都會引起對位的不準，而影響產品的質量和產品率，需要防震動，確保產品的精確度，提高產品的要求。在凈化工程防微振的區域內，從潔凈車間、凈化廠房的結構形式、動力設備布置及隔振措施到精密設備防微振措施等方面獨特的建設，為集成電路生產提供了一個優良的生產環境。